Zusammenarbeit bubbles & beyond mit Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien

08.03.2012

Umweltfreundliches Reinigungsverfahren für Mikroelektronik

bubbles & beyond, ein auf maßgeschneiderte intelligente Flüssigkeiten (intelligent fluids®) spezialisiertes Technologieunternehmen, und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien (CNT), Dresden, haben heute ihre Zusammenarbeit zur Entwicklung neuer Reinigungsverfahren im Bereich Mikroelektronik bekannt gegeben.
Im Rahmen der zweijährigen Kooperation werden bubbles & beyond und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien neuartige Entschichtungsprodukte für Halbleiteranwendungen entwickeln.

Ziel ist es, eine leistungsfähigere, kostengünstigere und vor allem umweltfreundlichere Alternative zur herkömmlichen und zumeist aggressiven chemischen Oberflächenbehandlung zu schaffen. Grundlage für die neue Reinigungsmethode ist die geschützte Phasenfluid-Technologie (intelligent fluids®) von bubbles & beyond, die bereits bei anderen Mikroelektronik-Anwendungen erfolgreich eingesetzt wird. Fraunhofer CNT bringt die erforderliche Halbleiterexpertise, die entsprechenden Forschungskenntnisse sowie umfangreiche hochpräzise Messanalytik in das Projekt ein.

Schwerpunkt der Zusammenarbeit wird die Untersuchung und Optimierung der Wirkung maßgeschneiderter Reinigungssysteme sein. Zusätzlich erfolgt eine Analyse von halbleiterspezifischen Kriterien, z.B. kritischen Materialien, Prozessstabilität und Kontaminationsrisiken. Auf Grundlage dieser Erkenntnisse wird zunächst die Eignung der neuen Technologie zur Entfernung von Lithographielacken untersucht und später auf weitere Prozessschritte ausgedehnt.

“Die Kooperation mit dem Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien ist für uns ein wichtiger Schritt zum Ausbau unserer Marktpräsenz im Bereich Mikroelektronik”, sagt Christian Römlein, Geschäftsführer von bubbles & beyond. “Das CNT verfügt über einzigartige Expertise mit Halbleiteranwendungen und bringt unverzichtbares Know-how in die Zusammenarbeit ein. Der Bedarf nach effizienter, schneller und umweltfreundlicher Oberflächenbehandlung von Halbleitern ist so groß, dass bereits in dieser frühen Kooperationsphase namhafte Industrieunternehmen ihr Interesse bekundet haben.”
“Innovative Ideen zusammen mit Industriepartnern in praxistaugliche Technologien für die Mikroelektronik umzusetzen ist eine unserer Missionen“, ergänzt Matthias Rudolph, Projektleiter am Fraunhofer CNT. „bubbles&beyond ist mit seiner anwendungserprobten Plattform an phasenfluidbasierten Reinigungssubstanzen ein idealer Partner für die gemeinsame Entwicklung von effektiveren und umweltfreundlicheren Reinigungsprozessen im Bereich der Halbleiterindustrie. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit dem jungen Leipziger Unternehmen und erwarten neuartige Lösungen für vielfältige Anwendungsbereiche.“

Über die bubbles & beyond GmbH
bubbles & beyond ist ein Technologieunternehmen, das sich auf die Entwicklung maßgeschneiderter intelligenter Flüssigkeiten in den Bereichen Industrie, Kosmetik und Medizin spezialisiert hat. Mit intelligent fluids® verfügt bubbles & beyond über eine patentierte Technologieplattform zur Herstellung von Phasenfluiden, mit der sich einzigartige physikalische Effekte und beeindruckende Performance sowie eine große Bandbreite unterschiedlicher Produkte und Anwendungen generieren lassen – und zwar ausschließlich auf Basis bewährter, lang erprobter sanfter Inhaltsstoffe. Das Unternehmen ist in der Lage, auf spezielle, produktrelevante Anforderungen, sich ändernde gesetzliche Bestimmungen oder besondere Kundenwünsche unterschiedlichster Branchen flexibel und schnell zu reagieren.
Das Unternehmen mit Sitz in Leipzig wurde 2006 gegründet. Weitere Informationen und aktuelle Neuigkeiten finden Sie unter www.intelligent-fluids.de.

Über Fraunhofer-Center für Nanoelektronische Technologien (CNT)
Das Fraunhofer CNT, welches am 31. Mai 2005 eröffnet wurde, ist ein Beispiel für die enge Zusammenarbeit zwischen Forschung und Produktion, für die Dresden hervorragende Bedingungen aufweist. Aufgrund seiner günstigen Lage innerhalb des "Silicon Saxony", bieten sich ideale Möglichkeiten der Zusammenarbeit mit Forschungseinrichtungen, Materialherstellern und Ausrüstungszulieferern auf dem Gebiet der Nanoelektronik.
Innerhalb des Infineon Werksgeländes stehen dem Fraunhofer CNT 800 m² Reinraum (Reinraumklasse 1000) sowie eine Infrastruktur auf 200 und 300 mm Basis für die Forschung zur Verfügung. Der Schwerpunkt liegt auf der Entwicklung von speziellen Prozessschritten für die Fertigung von High-Density-Speicher-Chips sowie High-Performance- Transistoren. Darüber hinaus arbeitet das Fraunhofer CNT an der Entwicklung neuer analytischer Methoden und Messtechniken sowie an der Analyse der Wafer-Verarbeitung, für die zahlreiche Labors zur Verfügung stehen. Entwicklungen und neue Prozesse am Fraunhofer CNT können aufgrund des Industriestandards unmittelbar in die Fertigungsabläufe der Hersteller eingebaut werden, um Kosten und Zeit weiter zu optimieren.
www.cnt.fraunhofer.de

Kontakt bubbles & beyond GmbH:
Katrin Kiesel
Karl-Heine-Str. 99
D-04229 Leipzig
Tel.: +49 (0)341 / 3196810
kiesel@bubbles-beyond.de
www.intelligent-fluids.de

Pressekontakt bubbles & beyond:
akampion
Ines-Regina Buth
Wilhelmshavener Str. 34
D-10551 Berlin
Tel: +49 (0)30 2363 2768
ines@akampion.com
www.akampion.com

Pressekontakt Fraunhofer CNT:
Peter Felten
Königsbrücker Str. 180
D-01099 Dresden
Tel.: +49 351 2607 3046
peter.felten@cnt.fraunhofer.de
www.cnt.fraunhofer.de

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